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2026-10-12
15μm狭缝的微细加工:从光束整形到批量一致性的工艺解析
在精密仪器与光学系统中,15μm级别的狭缝属于典型的微细结构。这类狭缝广泛应用于质谱仪离子束聚焦、光学编码器光栅信号生成、光谱仪入射光纯度控制等场景。狭缝宽度直接决定仪器的分辨率——缝越窄,分辨能力越强,但加工难度也同步攀升。从制造工艺角度看,15μm狭缝的加工需要同时解决三个核心技术问题:热影...

15μm狭缝的微细加工:从光束整形到批量一致性的工艺解析